清潔(jie)度(du)無塵(chen)室是顆粒(li)物(wu)污染控制(zhi)的基礎。控制(zhi)空氣(qi)懸浮(fu)微(wei)粒(li)濃(nong)度(du),從而達到適(shi)當的微(wei)粒(li)潔(jie)凈度(du)級(ji)別(bie)。無塵(chen)室是指將一(yi)定(ding)空間(jian)范圍內的微(wei)粒(li)物(wu)、有害空氣(qi)、細菌等之污染物(wu)排除,并將室內的溫度(du)、潔(jie)凈度(du)、室內壓(ya)力、氣(qi)流速度(du)與氣(qi)流分(fen)布(bu)、噪音(yin)振動及照明、靜電控制(zhi)在(zai)某一(yi)需(xu)求范圍內,而所給予特(te)別(bie)設計的房間(jian)。
清潔度無塵室(shi)是一(yi)個(ge)人造的(de)環境(jing),里(li)面含有的(de)粒子遠低(di)于(yu)一(yi)般的(de)環境(jing),隨著(zhu)集成電路(lu)的(de)級數的(de)快(kuai)速(su)成長,也增加了對制造環境(jing)(無塵室)潔凈度要(yao)求(qiu),在工業上即使讓粒子(zi)的尺寸(cun)小于0.1微米,也可(ke)能(neng)阻礙產(chan)品的運作或降低其壽(shou)命(ming)。
清潔度(du)無(wu)塵(chen)室(shi)其主要的(de)(de)作用在于控制(zhi)產品(如(ru)鋰電(dian)池(chi)等)所(suo)(suo)接觸的(de)(de)大氣(qi)的(de)(de)潔凈度(du)及溫濕度(du),使(shi)(shi)產品能(neng)在一(yi)個良好(hao)的(de)(de)環境(jing)空間中(zhong)生(sheng)產、制(zhi)造(zao)(zao)。由(you)于納米技術的(de)(de)興起,造(zao)(zao)成(cheng)半導(dao)(dao)(dao)體關鍵尺寸(cun)持續(xu)縮小,集(ji)成(cheng)電(dian)路積集(ji)度(du)不斷地(di)增(zeng)加,塵(chen)粒(li)更(geng)容(rong)易使(shi)(shi)電(dian)池(chi)芯片(pian)失效或(huo)可(ke)靠性(xing)(xing)降低(di)。例(li)如(ru)當金(jin)(jin)屬(shu)塵(chen)粒(li)落到金(jin)(jin)屬(shu)導(dao)(dao)(dao)線時,就可(ke)能(neng)會(hui)使(shi)(shi)金(jin)(jin)屬(shu)導(dao)(dao)(dao)線形成(cheng)短路。如(ru)果有酸性(xing)(xing)的(de)(de)離子化合物塵(chen)粒(li)掉(diao)在金(jin)(jin)屬(shu)導(dao)(dao)(dao)線上,可(ke)能(neng)將(jiang)其腐蝕,所(suo)(suo)以無(wu)塵(chen)室(shi)為(wei)集(ji)成(cheng)電(dian)路制(zhi)造(zao)(zao)*的(de)(de)要素。
