1、定義不同(tong)：

　　光(guang)學(xue)顯微鏡(jing)是利用光(guang)學(xue)原理(li)，把人(ren)眼所不能分辨的(de)微小物體放大(da)成(cheng)像，以供人(ren)們(men)提取微細結構信息的(de)光(guang)學(xue)儀器(qi)。

　　全(quan)自(zi)動掃描電子顯(xian)微(wei)鏡(jing)技術(shu)的應用是建立在(zai)光學顯(xian)微(wei)鏡(jing)的基礎之上的，光學顯(xian)微(wei)鏡(jing)的分辨(bian)率(lv)為0.2μm，透(tou)射電子(zi)顯微(wei)鏡的(de)分辨(bian)率(lv)為0.2nm，也(ye)就是(shi)說透射(she)電子(zi)顯(xian)微(wei)鏡(jing)在光學顯(xian)微(wei)鏡(jing)的基礎上放大了1000倍。

2、分類不同(tong)：

　　光學顯(xian)微(wei)(wei)鏡(jing)有(you)多種分(fen)類(lei)方法，按(an)使用目鏡(jing)的(de)數目可(ke)分(fen)為三目，雙目和單(dan)目顯(xian)微(wei)(wei)鏡(jing)；按(an)圖(tu)像是否有(you)立(li)體感可(ke)分(fen)為立(li)體視(shi)覺(jue)和非立(li)體視(shi)覺(jue)顯(xian)微(wei)(wei)鏡(jing)；按(an)觀察對像可(ke)分(fen)為生物和金相顯(xian)微(wei)(wei)鏡(jing)等；按(an)光學原理可(ke)分(fen)為偏光，相襯和微(wei)(wei)分(fen)干涉對比顯(xian)微(wei)(wei)鏡(jing)等。

　　全自動掃描電(dian)子(zi)顯(xian)(xian)微(wei)鏡(jing)(jing)按(an)結(jie)構和用(yong)途可分為透射(she)(she)式(shi)電(dian)子(zi)顯(xian)(xian)微(wei)鏡(jing)(jing)、掃描式(shi)電(dian)子(zi)顯(xian)(xian)微(wei)鏡(jing)(jing)、反(fan)射(she)(she)式(shi)電(dian)子(zi)顯(xian)(xian)微(wei)鏡(jing)(jing)和發射(she)(she)式(shi)電(dian)子(zi)顯(xian)(xian)微(wei)鏡(jing)(jing)等(deng)。

3、組成(cheng)結構不同：

　　顯(xian)微鏡的光(guang)學系統主要包括物鏡、目鏡、反光(guang)鏡和聚(ju)光(guang)器四個部件。廣(guang)義的說也(ye)包括照明(ming)光(guang)源、濾光(guang)器、蓋(gai)玻片(pian)和載玻片(pian)等。

　　全自動掃(sao)描電子顯微鏡由鏡筒(tong)、真空裝置和電源(yuan)柜(ju)三部(bu)分組(zu)成。

4、和(he)光(guang)學(xue)顯微鏡及透射電(dian)鏡相比，掃描電(dian)鏡具有(you)以下特點：

　　1、能夠直接(jie)觀察(cha)樣品(pin)表面的結構，樣品(pin)的尺(chi)寸可大至120mm×80mm×50mm。

　　2、樣品制備過程簡單，不(bu)用切成薄片。

　　3、樣(yang)品可以(yi)在樣(yang)品室中作(zuo)三度空間的平移和旋轉，因(yin)此，可以(yi)從各種(zhong)角度對(dui)樣(yang)品進行觀察。

　　4、景深大(da)，圖象(xiang)富有(you)立(li)體(ti)感(gan)。掃(sao)描電鏡的景深較光學顯微鏡大(da)幾百倍，比透射電鏡大(da)幾十倍。

　　5、圖象的放大(da)(da)(da)范(fan)圍(wei)廣，分(fen)辨率也比較高。可放大(da)(da)(da)十(shi)幾倍到(dao)(dao)幾十(shi)萬倍，它基本上包(bao)括(kuo)了從放大(da)(da)(da)鏡、光(guang)學顯(xian)(xian)微鏡直(zhi)到(dao)(dao)透(tou)(tou)射電鏡的放大(da)(da)(da)范(fan)圍(wei)。分(fen)辨率介(jie)于光(guang)學顯(xian)(xian)微鏡與透(tou)(tou)射電鏡之間(jian)，可達3nm。

　　6、電子束對樣(yang)品的(de)損傷(shang)與(yu)污染(ran)程度較(jiao)小。

　　7、在觀(guan)察形貌的同時，還(huan)可利用從樣品發出的其(qi)他信號作微區(qu)成(cheng)分分析(xi)。