清潔(jie)度無塵室是污染控制的(de)基礎。控制空氣(qi)懸浮微(wei)粒(li)濃度，從(cong)而達到適當的(de)微(wei)粒(li)潔(jie)凈(jing)(jing)度級別。無塵室是指將(jiang)(jiang)一定空間(jian)范(fan)圍(wei)內之(zhi)空氣(qi)中的(de)微(wei)粒(li)子、有(you)害空氣(qi)、細菌等之(zhi)污染物排除，并將(jiang)(jiang)室內之(zhi)溫(wen)濕度、潔(jie)凈(jing)(jing)度、室內壓(ya)力、氣(qi)流速度與氣(qi)流分(fen)布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需(xu)求范(fan)圍(wei)內，而所給予(yu)特別設(she)計的(de)房間(jian)。  

清潔(jie)(jie)度(du)無塵(chen)室(shi)是一(yi)個人造的環境(jing)，里面含有的粒子(zi)遠(yuan)低于一(yi)般的環境(jing)，隨著集成電路的級數的快(kuai)速成長，也(ye)增加(jia)了對生(sheng)產環境(jing)(無塵(chen)室(shi))潔(jie)(jie)凈(jing)度(du)要求(qiu)，在工業(ye)上即使使粒子(zi)之(zhi)尺寸想小于0.1um.也(ye)可能阻礙(ai)產品的運作或降低其壽(shou)命。

清潔(jie)度(du)無塵室(shi)的主要(yao)作用在于控制產(chan)品（如(ru)硅(gui)芯片等）所接觸之(zhi)大氣的潔(jie)凈度(du)日及溫濕度(du)，使(shi)產(chan)品能(neng)在一(yi)個良好之(zhi)環境空間中生產(chan)、制造(zao)。由于納米技術(shu)的興起，造(zao)成(cheng)(cheng)半導(dao)(dao)體關鍵尺寸持續縮小，集成(cheng)(cheng)電路積集度(du)不斷地增加，塵粒(li)更容易使(shi)芯片失效或可(ke)(ke)靠度(du)惡化(hua)。例如(ru)當金(jin)(jin)屬(shu)塵粒(li)落到金(jin)(jin)屬(shu)導(dao)(dao)線(xian)時(shi)，就可(ke)(ke)能(neng)會使(shi)金(jin)(jin)屬(shu)導(dao)(dao)線(xian)形成(cheng)(cheng)短路。如(ru)果有酸性的離子(zi)化(hua)合物塵粒(li)掉(diao)在金(jin)(jin)屬(shu)導(dao)(dao)線(xian)上，可(ke)(ke)能(neng)將其(qi)腐蝕，所以(yi)無塵室(shi)為集成(cheng)(cheng)電路制造(zao)不0可或0缺的要素(su)。