1.亂流式(Turbulent Flow)

　　空氣(qi)由(you)空調箱(xiang)經(jing)風管與無塵(chen)(chen)(chen)室內之空氣(qi)過(guo)濾器(HEPA)進入無塵(chen)(chen)(chen)室，并(bing)由(you)無塵(chen)(chen)(chen)室兩側隔間墻板(ban)或高(gao)架地板(ban)回風。氣(qi)流(liu)(liu)非直線型(xing)運(yun)動(dong)而呈不規則之亂(luan)流(liu)(liu)或渦(wo)流(liu)(liu)狀態。亂(luan)流(liu)(liu)無塵(chen)(chen)(chen)室靠送(song)風氣(qi)流(liu)(liu)不斷稀(xi)釋室內空氣(qi)，將污(wu)染空氣(qi)逐(zhu)漸稀(xi)釋，來實現潔凈(jing)(jing)的(de)。氣(qi)次(ci)數(shu)決定定義中的(de)凈(jing)(jing)化級(ji)別(換氣(qi)次(ci)數(shu)越多(duo)，凈(jing)(jing)化級(ji)別越高(gao))。此型(xing)式適用于(yu)無塵(chen)(chen)(chen)室等級(ji)1,000-100,000級(ji)。

　　優點:構造簡單、系統建造成本，無塵(chen)室(shi)之擴充比較容易，在某些特殊用途(tu)場所，可并用無塵(chen)工作臺，提(ti)高無塵(chen)室(shi)等級。

　　缺點:亂流造成的(de)微(wei)塵粒子于室(shi)內空(kong)間(jian)飄浮不易(yi)(yi)排出，易(yi)(yi)污染制程產品。另外若(ruo)系統(tong)停止運轉再激活，欲(yu)達需求之潔凈度，往往須耗時(shi)相當(dang)長一段時(shi)間(jian)。

　　2.層流式(Laminar)

　　層(ceng)流(liu)式空氣(qi)(qi)氣(qi)(qi)流(liu)運動成一均勻之(zhi)直線形(xing)，空氣(qi)(qi)由覆蓋率(lv)100%之(zhi)過濾器進入(ru)室(shi)內，并由高(gao)架(jia)地板(ban)或兩側隔(ge)墻(qiang)板(ban)回風，此型(xing)式適用(yong)于無(wu)塵室(shi)等(deng)級(ji)需定較(jiao)高(gao)之(zhi)環境使用(yong)，一般其(qi)無(wu)塵室(shi)等(deng)級(ji)為Class 1~100。其(qi)型(xing)式可分為二種:

　　⑴水平(ping)層流(liu)式:水平(ping)式空氣自過濾器單方向吹出，由(you)對邊墻壁之回風(feng)系統(tong)回風(feng)，塵埃隨風(feng)向排(pai)出室外，一般在下流(liu)側污(wu)染較嚴重。

　　優點:構造簡單，運轉(zhuan)后(hou)短時間內即可變成穩定(ding)。

　　⑵垂直層流式:房間天(tian)花板*以ULPA過濾(lv)器覆(fu)蓋，空氣由(you)上往下吹，可(ke)得較(jiao)高之潔凈度，在制程中或工作(zuo)人員所產生的(de)塵埃可(ke)快速排(pai)出室外而不會影響其它工作(zuo)區域。

　　優(you)點:管(guan)理容易(yi)，運轉開始短時間內即(ji)可達穩定(ding)狀態，不易(yi)為作業狀態或作業人員所影響。

　　缺(que)點:構造費用(yong)較高，彈性運用(yong)空間困難，天(tian)花板(ban)之吊(diao)架相當占(zhan)空間，維修(xiu)更換過(guo)濾器較麻(ma)煩。

　　3.復合(he)式(Mixed Type)

　　復(fu)合(he)式(shi)為將亂流式(shi)及層流式(shi)予以復(fu)合(he)或并用，可提(ti)供局部超潔凈(jing)之(zhi)空氣。

　　⑴潔凈隧(sui)道(Clean Tunnel):以HEPA或(huo)ULPA過濾(lv)器將制程區域(yu)(yu)或(huo)工(gong)作區域(yu)(yu)100%覆蓋使潔凈度等(deng)級提高(gao)至10級以上，可(ke)節省(sheng)安裝運轉費(fei)用。

　　此型式(shi)需將作業人員之(zhi)工作區與產品(pin)和機(ji)器維(wei)修(xiu)予(yu)以(yi)隔離，以(yi)避免機(ji)器維(wei)修(xiu)時(shi)影響了工作及品(pin)質，ULSI制程大(da)都采(cai)用此種(zhong)型式(shi)。

　　潔凈隧道(dao)另有二(er)項優點:A.彈性擴充(chong)容易; B.維修設(she)備時可在維修區輕(qing)易執行。

　　⑵潔凈管道(Clean Tube):將產品流程(cheng)經(jing)過的自動生產線包圍并凈化處理，將潔凈度等級(ji)提至(zhi)100級(ji)以上。因產品和(he)作業(ye)(ye)員及發塵環(huan)境相互隔離，少量之送(song)風即可得到(dao)良好之潔凈度，可節省能源，不(bu)需人工的自動化生產線為適宜使用(yong)。藥(yao)品、食(shi)品業(ye)(ye)界及半導體業(ye)(ye)界均(jun)適用(yong)。

　　⑶并裝局部無(wu)(wu)塵(chen)室(shi)(Clean Spot):將無(wu)(wu)塵(chen)室(shi)等級(ji)10,000~100,000之亂流(liu)無(wu)(wu)塵(chen)室(shi)內之產品制程區的潔(jie)凈(jing)度(du)等級(ji)提高為(wei)10~1000級(ji)以(yi)上，以(yi)為(wei)生產之用(yong);潔(jie)凈(jing)工(gong)作(zuo)臺、潔(jie)凈(jing)工(gong)作(zuo)棚(peng)、潔(jie)凈(jing)風柜即(ji)屬此類。

　　潔(jie)凈(jing)工作臺(tai):等級Class 1~100級。

　　潔(jie)凈工作棚:為(wei)在亂流式之(zhi)無塵室(shi)空(kong)間(jian)(jian)內(nei)以防靜電之(zhi)透明(ming)塑料(liao)布圍成一小空(kong)間(jian)(jian)，采(cai)用獨立之(zhi)HEPA或ULPA及空(kong)調送風機組而(er)成為(wei)一較高級(ji)之(zhi)潔(jie)凈空(kong)間(jian)(jian)，其(qi)等(deng)級(ji)為(wei)10~1000級(ji)，高度在2.5米左右，覆(fu)蓋面積約10m2以下，四支(zhi)支(zhi)柱并加(jia)裝活動輪，可(ke)為(wei)彈性運用。