一、定量測定方法(fa)

　　1、重量法

　　對外形復雜(za)但可用天平(ping)稱量的(de)小型物體的(de)總體潔凈度(du)的(de)一種有效評價(jia)方法(fa)。取一定(ding)數目樣品，對其(qi)清(qing)(qing)洗前(qian)的(de)質量m1，清(qing)(qing)洗后的(de)質量m2和清(qing)(qing)洗后再用其(qi)它方法(fa)進(jin)行(xing)*往污(wu)后的(de)質量m3進(jin)行(xing)正確稱量則(ze)對于單個樣品

　　污垢(gou)(gou)附著量=m1-m3;清洗污垢(gou)(gou)量=m1-m2;殘留污垢(gou)(gou)量=m2-m3

　　污垢往除率=(m1-m2)/(m1-m3)*100%

　　所(suo)求出樣(yang)品的(de)污垢(gou)往除(chu)率(lv)及單位面積(ji)的(de)污垢(gou)殘留是均(jun)勻(yun)值，據此即(ji)可判定出物體總(zong)體的(de)潔(jie)凈程度(du)。

　　2、吸光光度法

　　利用(yong)紫外線(xian)分光(guang)光(guang)度計丈(zhang)量殘(can)留污垢(gou)的(de)方(fang)法(fa)，把(ba)清洗后的(de)物體放在對污垢(gou)有強往除作用(yong)的(de)清洗劑中，把(ba)清洗劑中溶(rong)解的(de)污垢(gou)數(shu)目用(yong)紫外線(xian)吸收法(fa)進行測定。這(zhe)種(zhong)方(fang)法(fa)正確度高，可用(yong)于測定殘(can)留量小于0.01ug/cm2的(de)物體。

　　3、接觸角法

　　把水滴球面(mian)與物(wu)體接(jie)觸點(dian)所作的(de)(de)球面(mian)切線與物(wu)體表面(mian)形(xing)成的(de)(de)夾(jia)角叫接(jie)觸角，接(jie)觸角的(de)(de)大小與物(wu)體表面(mian)的(de)(de)材料有關。并隨(sui)著表面(mian)光潔(jie)度和物(wu)質性質而發生改變。接(jie)觸角越(yue)小表明其(qi)受親油性污(wu)垢污(wu)染越(yue)輕，表面(mian)潔(jie)凈度越(yue)高(gao)。接(jie)觸角法只適合(he)于測定平滑表面(mian)的(de)(de)潔(jie)凈度，對粗糙表面(mian)的(de)(de)物(wu)體不適用。

　　4、殘留(liu)離子濃度法

　　用純凈(jing)(jing)的(de)乙醇(chun)—水清(qing)洗(xi)液(通過離子(zi)(zi)交(jiao)換(huan)法(fa)等(deng)純化(hua)處理后，其電(dian)阻值在(zai)21uΩ以(yi)上)對(dui)洗(xi)凈(jing)(jing)后的(de)半導體材料進行浸泡(pao)處理，然后測定洗(xi)液的(de)電(dian)導率，溶出的(de)金屬離子(zi)(zi)越多，溶液的(de)電(dian)導率越大(da)。離子(zi)(zi)濃(nong)度(du)與(yu)電(dian)導率之間存在(zai)正比關系(xi)，用這種方法(fa)可(ke)判定清(qing)洗(xi)的(de)潔凈(jing)(jing)度(du)。

　　二(er)、定性評價(jia)方法

　　1、擦拭法

　　用干燥潔凈(jing)不起毛的布(如紗布)對(dui)物(wu)體表(biao)面擦(ca)拭，根據布臟的程度(du)判定(ding)表(biao)面潔凈(jing)度(du)。本法簡便(bian)但(dan)不。

　　2、水滴法

　　是接(jie)觸(chu)角(jiao)(jiao)評(ping)價潔(jie)凈(jing)度的一種應(ying)用。在一定(ding)(ding)的條件下，滴在表(biao)面上的水滴(一定(ding)(ding)體積)的直徑(jing)越大，接(jie)觸(chu)角(jiao)(jiao)越小，潔(jie)凈(jing)度越高。即把(ba)表(biao)面上形(xing)成(cheng)的水滴直徑(jing)大小和(he)外形(xing)，作為比較潔(jie)凈(jing)度的依據。

　　3、水膜法

　　把清洗(xi)后的物(wu)體(ti)浸泡在(zai)水(shui)(shui)里(li)，使物(wu)體(ti)表(biao)(biao)面與(yu)水(shui)(shui)面成垂直，向上拉，離開(kai)水(shui)(shui)面后如物(wu)體(ti)表(biao)(biao)面形(xing)成的水(shui)(shui)膜能(neng)均勻的占(zhan)滿全部表(biao)(biao)面，則說明(ming)潔凈度高，如表(biao)(biao)面有形(xing)不成水(shui)(shui)膜的，則說明(ming)那里(li)不夠潔凈。

　　4、水霧法

　　用噴霧器把均勻(yun)的微粒狀的水滴噴射到清洗后的干(gan)燥表(biao)面上(shang)，通過形成水滴的情況判定潔(jie)(jie)凈(jing)度，當表(biao)面十分(fen)潔(jie)(jie)凈(jing)時，微粒狀水滴會在表(biao)面上(shang)均勻(yun)的潤濕(shi)展(zhan)展(zhan)，而且干(gan)燥后凝霧水膜(mo)四(si)周外(wai)形呈規則(ze)的圓(yuan)形。

　　5、呼氣法

　　對(dui)著干燥的清洗(xi)對(dui)象表(biao)面(mian)呼氣，水蒸氣在(zai)表(biao)面(mian)上冷凝時會形成渾濁的霧斑，表(biao)面(mian)清潔(jie)時產生的霧斑是均勻的，反之則不均勻。當(dang)表(biao)面(mian)十分平滑潔(jie)凈時，霧斑會在(zai)很短時間(jian)內(nei)消失。